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谈述检测光学面形绝对检测技术论文

摘要:当今社会对光学检测水平要求越来越高,特别是在投影光刻曝光光学体系中,对面形RMS值的要求达到纳米甚至亚纳米。EUV光刻物镜对面形要求达到RMS0.2nm的级别,这对光学检测水平是一个极高的挑战。在光学检测中一个关键的技术是面形的绝对检测技术。常规菲索干涉仪和泰曼格林干涉仪的检测是相对于参考面的相对检测,而商用参考面面形一般只有λ/20PV(约6nmRMS)。而绝对检测办法是能够标定出参考面从及干涉仪体系误差的技术。球面面形的绝对检测技术主要有两球面绝对检测和随机球平均办法,而对于平面主要是三平板技术和它的延伸。本论文从面形绝对检测为方向,提出了一种基于泽尼克多项式的旋转平移绝对检测技术,并且通过实验验证取得了RMS0.2nm-0.3nm的检测不确定度。针对旋转平移绝对检测技术、两球面绝对检测技术和菲索干涉仪的面形检测,本论文进行了详细的检测不确定度分析;重点对旋转平移绝对检测技术的B类不确定度进行了详细的分析,包括各个引起不确定度的误差源和它们之间的相关性。对两球面绝对检测技术中的猫眼中心确定误差引起的测量不确定度进行了论述分析,得出了对于两球面绝对检测猫眼位置中心的确定是非常重要的一个因素的结论。本论文主要创新点有旋转平移绝对检测办法的建立与实现、对旋转平移绝对检测测量不确定度进行了详细的分析,并设计实验进行了充分的验证,同时对两球面绝对检测中的猫眼中心确定误差进行了论述的分析。下一步的工作内容包括进一步减小误差,降低不确定度;探讨更加稳定直观的评价光学面形的一种办法,使得光学面形的评价更加直观有效。 关键词:绝对检测论文 旋转平移绝对检测论文 两球面绝对检测论文 不确定度论文
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    摘要5-7

    Abstract7-9

    目录9-11

    第1章 绪论11-15

    1.1 课题探讨背景及作用11-12

    1.2 论文的主要探讨内容和论文结构安排12-15

    第2章 绝对检测技术15-23

    2.1 平面绝对检测15-17

    2.2 球面绝对检测17-20

    2.3 平移剪切绝对检测20-22

    2.4 本章小结22-23

    第3章 基于泽尼克多项式的旋转平移绝对检测23-39

    3.1 基于泽尼克多项式的旋转平移绝对检测原理23-30

    3.2 球面的畸变校正30-33

    3.3 基于泽尼克多项式的旋转平移绝对检测的实际运用33-38

    3.4 本章小结38-39

    第4章 菲索干涉仪测量不确定度分析39-65

    4.1 菲索干涉仪的测量原理39-41

    4.2 菲索干涉仪的测量不确定度分析41-63

    4.2.1 分析办法42-44

    4.2.2 随机误差分析44-49

    4.2.3 体系误差分析49-62

    4.2.4 不确定度评估62-63

    4.3 本章小结63-65

    第5章 基于泽尼克多项式的旋转平移绝对检测不确定度分析65-105

    5.1 不确定度矩阵65-68

    5.2 A 类不确定度68-71

    5.3 B 类不确定度71-91

    5.4 不确定度合成91

    5.5 实验验证91-104

    5.6 本章小结104-105

    第6章 两球面绝对检测不确定度分析105-117

    6.1 两球面绝对检测论述105-108

    6.2 两球面绝对检测误差分析108-112

    6.3 两球面绝对检测试验结果112-116

    6.4 本章小结116-117

    第7章 总结与展望117-119

    7.1 本论文所做工作与创新点117-118

    7.2 待解决不足和下一步工作118-119

    参考文献119-130

    在学期间学术成果状况130-131

    指导教师及作者介绍131-132

    致谢132

-333.3 基于泽尼克多项式的旋转平移绝对检测的实际运用33-383.4 本章小结38-39第4章 菲索干涉仪测量不确定度分析39-654.1 菲索干涉仪的测量原理39-414.2 菲索干涉仪的测量不确定度分析41-634.2.1 分析办法42-444.2.2 随机误差分析44-494.2.3 体系误差分析49-624.2.4 不确定度评估62-634.3 本章小结63-65第5章 基于泽尼克多项

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