千果论文网
论文范文
千果论文网免费提供各类论文范文,专注 毕业论文、职称论文!7年服务经验,质量保证!
当前位置:千果论文网 >> 论文下载 >> 论文提纲范文 >>浏览文章
试谈衍射点衍射干涉仪基准波前质量测评 论文

摘要:点衍射干涉仪使用极小孔径衍射形成近乎理想的球面波作为测试基准波前。这种干涉仪具有极高的检测精度,可从为高精度光刻投影曝光体系的研制提供技术支持。在实际运用中获得高精度基准波前是点衍射干涉仪研制的关键环节之一。由此,对衍射基准波前质量的评估是一项重要的工作。目前,对衍射基准波前质量的测评办法主要有两种:一种是数值仿真分析办法;另一种是采取两个近似相同的衍射光束剪切干涉测量,间接评价出基准波前的质量。第一种办法能够为点衍射干涉仪的研制提供论述依据。第二种办法可从对基准波前进行实际评估。但是,第二种办法测试历程容易受到高频噪声的干扰。另外,由于这种办法建立在参与干涉的两个波前具有一致性基础上,实际中相干波前两者之间的偏差会对测评结果产生影响。因而,探讨一种直接测评点衍射干涉仪基准波前的办法,为点衍射干涉仪小孔质量评价与体系集成提供技术支持是非常必要的。相位复原办法是一种直接测试办法,通过采集分析光学星点图像获得光学波前信息。这种办法可从用于点衍射干涉仪基准波前的测评中,从精确获得基准波前中的信息。本论文主要围绕点衍射干涉仪基准波前衍射质量测评展开探讨,包括相位提取算法探讨、测试精度分析、体系误差标定算法探讨、相关测试实验分析等。主要的探讨内容如下:1.建立小孔衍射的数学模型,确立衍射光强与衍射波前之间的函数联系。根据相位复原机理测评点衍射干涉仪基准波前,首先需要确立衍射图像与衍射波前之间的数学联系。基于扩展奈波尔-泽尼克论述,分析并获得小孔衍射光强与衍射波前的函数联系,为衍射波前相位提取算法的探讨建立可靠的数学模型。2.建立用于点衍射干涉仪基准波前测评的相位提取算法。根据衍射光强与衍射波前之间的数学联系,相位复原技术通过相位提取算法以衍射光强中获得波前信息。为满足高精度的测试要求,需要探讨适用于小孔衍射波前测评的相位提取算法。设计并建立一种通过光学放大体系对称采集离焦星点图像的多焦面相位提取算法。另外,为了进一步抑制测试环境的干扰,简化测试历程,提出一种单焦面相位提取算法,可从通过单幅衍射图像获得波前信息。3.探讨分析衍射波前测评历程中的误差源,对相位提取算法进行计算仿真分析。相位提取算法具有非常高的论述计算精度(优于0.0072nm RMS),但是在实际运用历程中,定位误差、光源功率和频率不稳定性、探测器噪声、采样率、背景杂光等因素都会对测试结果产生影响。通过对这些因素的仿真分析,获得多焦面和单焦面相位提取算法的测试精度分别能够达到0.026nmRMS和0.024nm RMS,可满足对衍射波前的测评要求。4.探讨衍射波前测评历程中体系误差标定办法,并对其精度进行分析。所设计的衍射波前测试装置,通过光学放大体系将衍射图像成像到探测器进行采集,通过对采集图像进行分析,获得相关波前信息。但是,光学放大成像体系的波前像差也会被引入到测试结果中。为满足高精度的测试要求,探讨了这种测试装置的体系误差标定办法。对标定办法精度进行分析。分析结果表明,标定办法论述精度能够达到2.02×10~(-4)nm RMS。5.衍射波前测评实验探讨。设计并构建衍射波前的测评装置,进行测试分析。通过实验探讨,验证了基于相位复原技术进行衍射波前测试办法的有效性。6.扩展运用:光学成像体系波前测试实验探讨。上面陈述的相位提取算法由于具有很高的测试精度,无需搭建干涉测量光路。由此,对光刻投影曝光体系等高精度光学成像体系进行实时像质测评具有很好的运用前景。对高精度光学成像体系进行测试。将测试结果与菲索干涉仪的测试结果进行比对,二者差别为0.0074λ RMS (λ=632.8nm)。经过分析,星点图像的低采样率是测试历程中的主要误差源。通过提升星点图像的采样率,可从获得更高测试精度。 关键词:极紫外光刻论文 点衍射干涉仪论文 基准波前论文 光学检测论文 相位复原论文
本论文由http://www.qqg88.com整理提供,需要 论文可从关系客服人员哦。

    摘要4-6

    Abstract6-11

    第1章 绪论11-31

    1.1 探讨背景及作用11-27

    1.2 需要解决的主要不足27-28

    1.3 论文的主要探讨内容28-31

    第2章 衍射光强与衍射波前函数联系建立31-4

定办法。对标定办法精度进行分析。分析结果表明,标定办法论述精度能够达到2.02×10~(-4)nm RMS。5.衍射波前测评实验探讨。设计并构建衍射波前的测评装置,进行测试分析。通过实验探讨,验证了基于相位复原技术进行衍射波前测试办法的有效性。6.扩展运用:光学成像体系波前测试实验探讨。上面陈述的相位提取算法由于具有很高的测

千果论文网专注 毕业论文与职称论文以及论文 表业务,如有需要请联系客服人员!