致谢3-4

摘要4-6

ABSTRACT6-11

第1章 前言11-23

1.1 探讨背景及作用11-14

1.2 微透镜阵列焦距的主要检测办法14-21

1.3 论文探讨内容和目标21-23

第2章 剪切干涉法测量微透镜阵列23-45

2.1 概述23

2.2 剪切干涉法测量原理23-35

2.2.1 剪切干涉法的论述介绍23-28

2.2.2 光栅剪切干涉法测量的论述基础28-35

2.3 剪切干涉测量结果35-37

2.4 剪切干涉法测量不确定度37-44

2.4.1 微透镜阵列子单元孔径测量不确定度37-39

2.4.2 0 级衍射光斑直径测量不确定度39

2.4.3 光栅与像面轴向距离测量不确定度39-40

2.4.4 光栅离焦量测量不确定度40-44

2.5 小结44-45

第3章 光栅衍射分光测量微透镜阵列45-74

3.1 概述45-46

3.2 光栅衍射分光法论述基础46-50

3.3 光栅衍射分光法仿真分析50-51

3.4 光栅衍射分光法光斑干扰分析51-64

3.4.1 微透镜阵列子单元孔径变化产生的光斑干扰分析55-57

3.4.2 微透镜阵列焦距变化产生的光斑干扰分析57-59

3.4.3 光源波长变化产生的干扰分析59-61

3.4.4 光栅周期变化产生的干扰分析61-64

3.5 光栅衍射分光法测量结果64-68

3.6 光斑衍射分光法测量不确定度68-73

3.6.1 波长引起的测量不确定度68

3.6.2 光栅周期测量引起的测量不确定度68-69

3.6.3 清晰度定焦引起的测量不确定度69-70

3.6.4 光斑中心距引起的测量不确定度70-73

3.7 小结73-74

第4章 图像处理法测量微透镜阵列74-93

4.1 概述74

4.2 图像处理法的论述基础74-79

4.3 图像处理法仿真分析79

4.4 测量结果分析79-83

4.5 图像处理法测量不确定度分析83-92

4.5.1 初始距离误差引起的测量不确定度83

4.5.2 光轴偏移引起的测量不确定度83-84

4.5.3 清晰度定焦技术引起测不确定度84-91

4.5.4 光管准直性引起的测量不确定度91-92

4.6 小结92-93

第5章 哈特曼波前检测法测量微透镜阵列93-108

5.1 概述93-94

5.2 哈特曼波前检测法原理94-98

5.3 ZEMAX 仿真分析98-101

5.4 哈特曼波前检测法测量结果101-104

5.5 测量不确定度分析104-106

5.5.1 子单元孔径产生的测量不确定度104-105

5.5.2 光斑偏移产生的测量不确定度105

5.5.3 表面距离产生的测量不确定度105-106

5.6 小结106-108

第6章 检测办法精度与范围标定108-117

6.1 概述108-109

6.2 剪切干涉法精度与范围标定109-111

6.2.1 剪切干涉法测量范围109

6.2.2 剪切干涉法精度标定109-111

6.3 光栅衍射法精度和范围标定111-113

6.3.1 光栅衍射法测量范围111-112

6.3.2 光栅衍射法精度标定112-113

6.4 图像处理法精度和范围标定113-114

6.4.1 图像处理法测量范围113

6.4.2 图像处理法精度标定113-114

6.5 哈特曼检测法精度和范围标定114-116

6.5.1 哈特曼检测法测量范围114-115

6.5.2 哈特曼检测法精度标定115-116

6.6 小结116-117

第7章 总结与展望117-121

7.1 论文主要探讨成果117-118

7.2 论文创新点总结118-119

7.3 探讨展望119-121

参考文献121-126

作者介绍及在读期间发表的学术论文与探讨成果126-127