致谢3-4
摘要4-6
ABSTRACT6-11
第1章 前言11-23
1.1 探讨背景及作用11-14
1.2 微透镜阵列焦距的主要检测办法14-21
1.3 论文探讨内容和目标21-23
第2章 剪切干涉法测量微透镜阵列23-45
2.1 概述23
2.2 剪切干涉法测量原理23-35
2.2.1 剪切干涉法的论述介绍23-28
2.2.2 光栅剪切干涉法测量的论述基础28-35
2.3 剪切干涉测量结果35-37
2.4 剪切干涉法测量不确定度37-44
2.4.1 微透镜阵列子单元孔径测量不确定度37-39
2.4.2 0 级衍射光斑直径测量不确定度39
2.4.3 光栅与像面轴向距离测量不确定度39-40
2.4.4 光栅离焦量测量不确定度40-44
2.5 小结44-45
第3章 光栅衍射分光测量微透镜阵列45-74
3.1 概述45-46
3.2 光栅衍射分光法论述基础46-50
3.3 光栅衍射分光法仿真分析50-51
3.4 光栅衍射分光法光斑干扰分析51-64
3.4.1 微透镜阵列子单元孔径变化产生的光斑干扰分析55-57
3.4.2 微透镜阵列焦距变化产生的光斑干扰分析57-59
3.4.3 光源波长变化产生的干扰分析59-61
3.4.4 光栅周期变化产生的干扰分析61-64
3.5 光栅衍射分光法测量结果64-68
3.6 光斑衍射分光法测量不确定度68-73
3.6.1 波长引起的测量不确定度68
3.6.2 光栅周期测量引起的测量不确定度68-69
3.6.3 清晰度定焦引起的测量不确定度69-70
3.6.4 光斑中心距引起的测量不确定度70-73
3.7 小结73-74
第4章 图像处理法测量微透镜阵列74-93
4.1 概述74
4.2 图像处理法的论述基础74-79
4.3 图像处理法仿真分析79
4.4 测量结果分析79-83
4.5 图像处理法测量不确定度分析83-92
4.5.1 初始距离误差引起的测量不确定度83
4.5.2 光轴偏移引起的测量不确定度83-84
4.5.3 清晰度定焦技术引起测不确定度84-91
4.5.4 光管准直性引起的测量不确定度91-92
4.6 小结92-93
第5章 哈特曼波前检测法测量微透镜阵列93-108
5.1 概述93-94
5.2 哈特曼波前检测法原理94-98
5.3 ZEMAX 仿真分析98-101
5.4 哈特曼波前检测法测量结果101-104
5.5 测量不确定度分析104-106
5.5.1 子单元孔径产生的测量不确定度104-105
5.5.2 光斑偏移产生的测量不确定度105
5.5.3 表面距离产生的测量不确定度105-106
5.6 小结106-108
第6章 检测办法精度与范围标定108-117
6.1 概述108-109
6.2 剪切干涉法精度与范围标定109-111
6.2.1 剪切干涉法测量范围109
6.2.2 剪切干涉法精度标定109-111
6.3 光栅衍射法精度和范围标定111-113
6.3.1 光栅衍射法测量范围111-112
6.3.2 光栅衍射法精度标定112-113
6.4 图像处理法精度和范围标定113-114
6.4.1 图像处理法测量范围113
6.4.2 图像处理法精度标定113-114
6.5 哈特曼检测法精度和范围标定114-116
6.5.1 哈特曼检测法测量范围114-115
6.5.2 哈特曼检测法精度标定115-116
6.6 小结116-117
第7章 总结与展望117-121
7.1 论文主要探讨成果117-118
7.2 论文创新点总结118-119
7.3 探讨展望119-121
参考文献121-126
作者介绍及在读期间发表的学术论文与探讨成果126-127
.5.2 光轴偏移引起的测量不确定度83-844.5.3 清晰度定焦技术引起测不确定度84-914.5.4 光管准直性引起的测量不确定度91-924.6 小结92-93第5章 哈特曼波前检测法测量微透镜阵列93-1085.1 概述93-945.2 哈特曼波前检测法原理94-985.3 ZEMAX 仿真分析98-1015.4 哈特曼波前检测法测量结果101-1045.5 测量不确定度分析104-1065.5