千果论文网
论文范文
千果论文网免费提供各类论文范文,专注 毕业论文、职称论文!7年服务经验,质量保证!
当前位置:千果论文网 >> 论文下载 >> 职称论文范文 >>浏览文章
探讨成像提高超衍射透镜成像分辨力的论述和策略学士论文(2)

2.3 超振荡和纳米小球超衍射成像探讨发展17-20

1.3 超衍射光刻技术探讨发展20-24

1.3.1 表面等离子体光刻20-23

1.3.2 局域表面等离子体光刻23-24

1.4 传统光刻分辨力增强技术24-29

1.4.1 相移掩模技术25-26

1.4.2 离轴照明技术26-28

1.4.3 邻近效应校正28-29

1.5 本论文的探讨作用及主要内容安排29-32

1.5.1 探讨作用29

1.5.2 主要内容29-32

第2章 表面等离子体的论述基础和数值计算32-48

2.1 表面等离子体的经典电磁场论述32-37

2.1.1 表面等离子体32-34

2.1.2 局域表面等离子体34-36

2.1.3 表面等离子体激发模式36-37

2.2 金属材料的 Drude 模型37-39

2.3 亚波长表面等离子体光学的论述分析39-44

2.3.1 严格耦合波分析39-43

2.3.2 格林函数积分方程法43-44

2.4 亚波长表面等离子体光学的数值计算44-47

2.4.1 有限元法44-45

2.4.2 时域有限差分法45-47

2.5 本章小结47-48

第3章 超透镜成像光刻分辨力的提升办法和影响因素探讨48-62

3.1 超透镜成像光刻探讨背景49-50

3.2 相移掩模提升超透镜成像光刻的探讨50-55

3.2.1 相移掩模原理设计51-52

3.2.2 数值模拟验证52-55

3.2.3 分辨力和曝光深度55

3.3 超透镜成像光刻的影响因素探讨55-61

3.3.1 空气间隙56-57

3.3.2 偏振照明57-60

3.3.3 掩模台阶轮廓60-61

3.4 本章小结61-62

第4章 远场光学体系投影曲平超透镜超衍射缩小成像光刻探讨62-73

4.1 探讨背景62-63

4.2 远场光学体系对接曲平超透镜的办法63-65

4.3 超衍射缩小成像光刻探讨65-72

4.3.1 对接远场光学体系规律分析66-70

4.3.2 三维投影缩小成像光刻探讨70-72

4.4 本章小结72-73

第5章 基于表面等离子体亚波长结构的相衬成像办法探讨73-90

5.1 相衬成像探讨背景73-74

5.2 位相纳米物体的相衬成像原理74-76

5.3 论述分析和数值模拟76-87

5.3.1 表面等离子体相衬透镜的优化设计76-82

5.3.2 表面等离子体相衬透镜的相衬效果82-87

5.4 实验验证87-89

5.5 本章小结89-90

第6章

.1.1 表面等离子体32-342.1.2 局域表面等离子体34-362.1.3 表面等离子体激发模式36-372.2 金属材料的 Drude 模型37-392.3 亚波长表面等离子体光学的论述分析39-442.3.1 严格耦合波分析39-432.3.2 格林函数积分方程法43-442.4 亚波长表面等离子体光学的数值计算44-472.4.1 有限元法44-452.4.2 时域有限差分法45-472.5 本章小

千果论文网专注 毕业论文与职称论文以及论文 表业务,如有需要请联系客服人员!